Розроблено новий мініатюрний ємнісний датчик тиску, який включає CMOS IC на тій же кремнієвій мікросхемі. Розмір чипа датчика становить 3,3 мм х 3,7 мм х 0,5 мм, а сам елемент виявлення ємності та електронне коло захищені герметично між кремнієвим підкладкою та скляним покриттям з використанням унікальної структури електричного проходу. Інтегроване електронне коло є C-F перетворювачем, частота осциляції якого змінюється як функція виявленої ємності. Таким чином, можна моніторити хвилеподібний тиск за допомогою лише двох зовнішніх виводів. Розроблений процес може бути застосований для виготовлення багатьох видів інтегрованих датчиків малих розмірів з високими характеристиками та низькими витратами.